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首页 >> 产品中心 >> 硅片显微镜 >> 产品详细

一、用途:

    TGP-40C大平台硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头.是检测太阳能电池硅片的金字塔的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.
 
二、技术参数
1.目镜

类 别
放大倍数
视场(mm)
大视野目镜
10X
φ18

  2.物镜

类 型
放大倍数
数值孔径NA
工作距离(mm) 
物镜
4X
0.10
18.3
10X
0.25
8.9
PC20X
0.40
8.7
PC40X
0.65
3.7

3.光学放大倍数:40X -- 500X   
4.滤色片组:黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5
.偏光装置:可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6
.载物台:(配有快速移动装置)
   
尺寸:400*300mm  移动范围:254*254mm[标配]
7
.粗微同轴调焦机构,微动手轮格值:0.002mm
8
.落射照明器:12V/50W卤素灯,亮度可调
9
.防霉:特有的防霉系统
10.成像系统:日本专业进口摄像头或500万高像素的数字摄像头
 
三、系统组成
大平台硅片检测显微镜(TGP-40C): 1.显微镜 2.适配镜 3、进口专业摄像头  4、计算机
 
四、总放大参考倍数
   电脑型硅片检测显微镜(TGP-40C):50--4000倍 (17寸显示器为例)
 
五、选购件  
 1.硅片专用测量软件TX-3000C   2.目镜: 20X 10X(带刻度)  

 


电脑型硅片显微镜 TGP-40C

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